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原位薄膜應(yīng)力測試儀又名原位薄膜應(yīng)力計，采用非接觸激光MOS技術(shù)；不但可以對樣品表面應(yīng)力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；客戶可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點進行測量；并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析；